產品簡介：

型號：MFC501應用領域：——分析儀器 
        ——干刻（RIE/DRIE)——生物技術 
        ——氣象色譜分析——激光焊機

產品特征：

高精度，高穩定性，快響應，小體積。

產品簡介：

型號：MFC501

應用領域：

——分析儀器                             ——干刻（RIE/DRIE)

——生物技術                             ——氣象色譜分析

——激光焊機                             ——過程自動化

——真空鍍膜                             ——燃料電池

產品特性：

◆無可移動部件

◆支持多種通訊協議

◆容易安裝及維護

◆高精度、高穩定性、非常低的零漂

◆可控多種氣體

◆可配控制器

◆產品低功耗

      機械尺寸：

技術指標：

      流量規格：0~20,30,50,100,150,200,275SLM

準 確 度：±1.5％F.S.

線 性 度：＜±1％F.S.

重復精度：±0.2％F.S.

響應時間：＜1S

工作壓差：0~0.8MPa

耐壓：3MPa

環境溫度：5-55℃

電氣連接：Db15

輸出信號：0~5V、4~20mA

電      源：±15V或者15~28V

流量調節范圍：2~100F.S

漏      率：＜1*10-7Pa*m3/s

溫度系數：＜0.1%F.S/℃

外形尺寸：106*36*138

重      量：2.0Kg

電氣連接：DB15